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                技術(shù)文章

                1200℃立式管式氣氛爐

                技術(shù)文章

                AFD系列立式管式氣氛爐的*設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)在真空或氣氛保護(hù)條件下對樣品快速升降溫,四面加熱,溫場更均勻,立式結(jié)構(gòu)使得氣體排放更加順暢,爐體垂直安裝在可移動(dòng)支架上有利于爐管取放溫度的均勻性,可以預(yù)抽真空并能通氫氣、氬氣、氮?dú)狻⒀鯕狻⒀趸肌狈纸鈿獾葰怏w,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn),特別適合薄膜生長、電測試、氧化物晶體生長、快速退火等實(shí)驗(yàn)需要!

                1200℃立式管式氣氛爐適用范圍:

                 立式管式氣氛爐主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。

                1200℃立式管式氣氛爐技術(shù)參數(shù):

                產(chǎn)品名稱

                1200度立式管式氣氛爐

                產(chǎn)品型號(hào)

                AFD1200-50

                爐管尺寸

                Φ50×1000mm

                溫區(qū)長度

                440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制)


                恒溫區(qū)長
                 

                200mm

                工作溫度

                1100℃(此溫度為加熱溫度)

                高溫度

                1200℃

                控溫方式

                智能化30段可編程控制(用戶可選配液晶觸摸屏顯示)

                控溫度

                ±1℃

                溫控保護(hù)

                具有超溫和斷偶保護(hù)功能

                加熱速率

                0~20℃/分

                加熱元件

                含鉬合金加熱絲

                工作電壓

                AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制)

                大功率

                3KW

                爐膛材料

                采用多晶陶瓷纖維,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強(qiáng)

                法蘭接頭

                標(biāo)配配有兩個(gè)不銹鋼真空法蘭,已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥。

                密封系統(tǒng)

                該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好、可12小時(shí)壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。

                真  空 度

                雙旋片機(jī)械泵:10^-2 torr
                分子泵機(jī)組:10^-5 torr


                供氣系統(tǒng)
                 

                該爐配有浮子流量計(jì),客戶可通過浮子流量計(jì)或質(zhì)子流量計(jì)控制氣體的流速。


                爐管材質(zhì)
                 

                氣煉石英管


                氣  密  性
                 

                4.03×10-3Pa

                測溫元件

                K型熱電偶測溫

                凈       重

                70KG

                提供相關(guān)配件

                氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、爐塞


                電氣認(rèn)證
                 

                CE認(rèn)證


                售后服務(wù)
                 

                12個(gè)月質(zhì)保、終身保修

                聯(lián)


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